R&D

미래 반도체 시장 선점을 위해
최선의 노력을 다하고 있습니다.

엔씨켐은 핵심 소재의 국산화 및 차세대 재료 선행 개발에 주력하고 있으며,
독자적인 개발 프로세스를 구축하여 혁신적인 연구를 추구하고 있습니다.

연구분야

엔씨켐은 그 동안 축적 된 유기 합성 기술, 고분자 합성 기술 등 다양한 분석 기술을 기반으로
반도체 같은 다양한 전자산업 분야에 사용되는 핵심 폴리머 재료들을 개발하고 있습니다.

또한 개발 및 양산화 제품의 품질을 위해 PPB(Parts Per Billion) 단위까지 측정이 가능한 장비로 관리하고 있습니다.

폴리머 재료

반도체 포토레지스트용 핵심 원재료인
KrF폴리머, ArF 폴리머, EUV 폴리머 등

감광제 재료

반도체 KrF 및 ArF,
EUV PAG 등

핵심역량

제품의 혁신성과 지속적인 경쟁 우위를 확보하기 위해 차별화된 기술역량을 보유하고 있습니다.

Polymer 제품
Division MW PDI TS (%) Metal (ppb) Purity(%)
Total UEach
Polymer KrF 5,000 ~ 40,000 1.2 ~ 1.6 50 <10 <5 -
ArF 5,000 ~ 10,000 1.5 ~ 1.8 30 <10 <5 -
EUV 3,000 ~ 10,000 1.3 ~ 1.6 30 <10 <5 -
BARC 7,000 ~ 50,000 1.3 ~ 2.0 10 <10 <5 -
PAG 제품
Division Metal(ppb) Purity(%) NMR ratio
(cation/anion, %)
Residual halide
(Total, ppm)
Total Each
PAG KrF <30 <5 >99.50 50.00 ± 0.50 <50.0
ArF <20 <5 >99.50 50.00 ± 0.50 <50.0
EUV <10 <3 >99.90 50.00 ± 0.50 <30.0
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게시일 2023.03.28